臺(tái)階儀
簡(jiǎn)要描述:P-17臺(tái)階儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。
- 產(chǎn)品型號(hào):P-17
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2023-07-24
- 訪 問 量:2028
P-17 臺(tái)階儀
P-17臺(tái)階儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。
產(chǎn)品描述
P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀,是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái),因而具備的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
主要功能
· 臺(tái)階高度:幾納米至1000μm
· 微力恒力控制:0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接
· 視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
· 軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面
· 生產(chǎn)能力:通過測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化
主要應(yīng)用
· 臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度
· 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀:2D和3D翹曲和形狀
· 應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力
· 缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
· 大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
· 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽(yáng)能
· MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)
· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
· 汽車
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