Alpha-Step D-600 臺階儀

Alpha-Step D-600臺階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和的光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

·       臺階高度：幾納米至1200μm

·       低觸力：0.03至15mg

·       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

·       梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

·       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·       緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

·       軟件：用戶友好的軟件界面

主要應用

·       臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度

·       紋理：2D粗糙度和波紋度

·       形式：2D翹曲和形狀

·       應力：2D薄膜應力

工業(yè)應用

·       大學，研究實驗室和研究所

·       半導體和復合半導體

·       SIMS：二次離子質(zhì)譜

·       LED：發(fā)光二極管

·       太陽能

·       MEMS：微電子機械系統(tǒng)

·       汽車

·       醫(yī)療設(shè)備

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